三轴荷重位移曲线仪

参数类别	具体参数（分轴说明）	说明与典型要求
力值性能	Z轴最大推力/拉力	量程小，精度高。常见：50mN, 200mN, 1N, 10N。高端设备可低至 10μN。
	X/Y轴最大侧向力	通常小于Z轴量程，如 20mN, 100mN, 500mN。
	力值分辨率（所有轴）	核心指标，可达 0.1μN (0.0001mN)。
	力值精度	通常优于 ±0.5% FS，超高精度型可达 ±0.1% FS。
位移性能	Z轴行程与分辨率	行程：10mm - 100mm；分辨率：1nm - 10nm。
	X/Y轴行程与分辨率	行程：5mm - 50mm；分辨率：10nm - 100nm。
	定位精度（所有轴）	亚微米级，如 ±0.1μm。
运动与控制	最小运动步长	纳米级可编程步进。
	速度范围	从极慢（μm/s）到较快（mm/s）无级可调。
	多轴同步控制	支持三轴直线插补、圆弧插补，实现复杂空间轨迹的精准复现。
传感与视觉	视觉系统放大倍数	50x - 1000x 连续变倍，带同轴光，用于精密对位和测试后观察。
	多维力传感器（选配）	提供 Fx, Fy, Fz, Mx, My, Mz 六个分量的同步测量。
软件与分析	轨迹编程功能	图形化或代码编程，定义任意三维运动路径（如螺旋下降、倾斜插入）。
	三维数据分析	可绘制任意两参数关系曲线（如Z向位移 vs. X向力），并进行三维云图展示。
	关键参数自动计算	自动计算：插拔峰值力、摩擦力、粘附功、弹性模量（通过压入法）、蠕变等。
样品与环境	最大样品尺寸	受样品台限制，通常适用于小型PCB、芯片、微型连接器等。
	环境隔离（选配）	可配置防尘罩、温湿度控制模块，进行环境敏感性测试。

（以上具体参数仅作为参考，要具体参数方案及报价可联系客服）